洁净室监视控制系统

系统概要

对用于维持半导体洁净室洁净度的 FFU 进行本地或远程监视与控制。

通过有线通信，监视台可迅速掌握各区域运行状态，并在报警时立即通知操作人员，从而以较少人力维持大面积洁净状态。

系统构成

三层结构：HCU（上位 PC）+ RCU/MCU 机架（多通道）+ LIU（FFU 控制器）

通信方式

RS232C → 转换器 → RS485（HCU ↔ 机架），RS485（机架 ↔ LIU）

机架构成

RCU/MCU 机架按多通道（CH 1–CH n）扩展，并以机架为单位分组管理

容纳规模

每个 RS485 通道最多连接 64 台 LIU

BLUECORD 的优势

• 在洁净室监视控制系统上积累的经验
• 机型丰富，可迅速响应客户要求
• 过去 10 年向三星、LG、海力士等主要客户供货，可灵活应对半导体与 LCD 工厂的改造和新增产线

洁净室 FFU 监视控制系统

上位 PC 经转换器连接多台 RCU/MCU，每台 RCU/MCU 按通道对多台 LCU（FFU 控制器）进行分组控制。

洁净室 EFU 监视控制系统

上位 PC 经转换器连接 MCUL_PC / MCUL_PWM / MCUL_BLDC 控制盘（20 台），各控制盘直接驱动并监视多台 BLDC 电机控制器。