自动控制及 FFU 装置

包括洁净室自动控制系统与 FFU(风机过滤单元)在内,
用于精密控制半导体、显示工艺环境的设备产品线。

洁净室监视控制系统

Fan Filter Unit

LCU 系列

完整产品线及详细规格资料正在准备中。如急需特定产品,请使用技术咨询或致电 +82-42-601-4500。