Wafer Pre-Aligner

Wafer Image 검출 장치와 Moving 장치(θ축, X축, Z축) 등으로 구성되며, 고분해능의 Linear CCD Sensor를 적용하여 Wafer Edge 및 Notch에 대한 Image Data를 고속 처리함으로써 편심을 보정하고, Flat 또는 Notch를 임의의 각도(User Setting)로 정확하고 신속하게 정렬하는 장치입니다.

• Particle 최소화를 위한 최소 접촉 방식의 Chuck 설계
• Class-1 대응 및 오염 방지를 위한 Inner Filter 채용
• 6", 8", 12" Wafer 공용 가능한 우수한 확장성
• 최소 Footprint 248×285×230mm
• X, Z, θ의 Module Block화로 Maintenance가 용이
• Cycle time 4초 이내
• 정밀한 위치 제어를 위한 Micro Stepping Driver 채용
• Precision X ± 0.035mm / θ ± 0.035mm