WP20300C - Pre-aligner 감도 조정 관련
번 호 : 3366 조 회 : 128 날 짜 : 2019-12-16 12:16:35  
작성자 :   전철민


안녕하세요.

WP20300C 모듈(ANI사 WRS설비)을 사용하고 있는 유저입니다.

최근 Pre-aligner에서 Pattern wafer notch를 찾지 못하는 현상이 발생되고 있습니다.

bare wafer는 정상적으로 진행됩니다.


LED light의 감도가 떨어진건지?, led 감도 조정을 해보고 싶은데 방법 좀 알려주세요.

아니며 해볼수 있는 item 있는지요?

감사합니다.


starc123@naver.com




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